無塵車間對純化水體系設備的特殊要求：純化水體系的設備主要有蒸餾水器、離子交換設備、反滲透設備、電滲析設備、EDI設備，當然還應包括原水的處理設備，以及衛(wèi)生級水泵與普通給水泵、閥門和管道等；水處理流程中的微生物操控應貫穿進程的一直。

    純化水貯罐及配水管道要有定期進行微生物消毒的辦法，應該依據(jù)工藝用水純化水體系內(nèi)部所選用的水處理設備的功能和特色，環(huán)繞操控和削減微生物的污染采取辦法；在純化水體系中還應當依據(jù)所選用的消毒辦法，恰當?shù)靥暨x設備的制作資料，若選用熱處理辦法，則活性炭過濾器或軟化器的制作資料應具有耐熱性。

    若選用化學消毒辦法，則這杯的制作資料能夠不考慮耐熱問題，而主要考慮設備內(nèi)腐蝕壽命問題，如選用玻璃鋼樹脂內(nèi)襯聚乙烯；純化水體系設備還應具備無不流動的靜態(tài)水段的特性，悉數(shù)設備都應具有能夠?qū)Ⅲw系內(nèi)部余水放空的才能，體系外部的水也不會倒流回體系而產(chǎn)生污染。